[PEDIEN] 경상북도가 반도체 산업의 핵심 경쟁력 강화를 위해 발 벗고 나섰다. 산업통상부가 주관한 '반도체 챔버용 소재 부품 제조 및 검증 테스트베드 구축' 공모사업에 최종 선정되며 국비 150억원을 확보한 것이다.
이번 선정은 국내 반도체 산업의 고질적인 문제였던 특정 국가 의존도를 낮추고 핵심 부품의 기술 자립화를 이루기 위한 중요한 발판이 될 전망이다. 반도체 챔버는 웨이퍼 고정, 플라즈마 제어 등 극한 공정 환경에서 장비를 보호하는 전략적 소모품으로, 최근 2nm급 이하 초미세 공정 도입에 따라 극저온·수소 플라즈마 등 극한 환경을 견딜 수 있는 고부가 부품 수요가 급증하고 있다.
그동안 국내 중소·중견기업들은 고가의 준양산급 장비 부족으로 시제품 제작 및 성능 검증에 큰 어려움을 겪어왔다. 이번 테스트베드 구축을 통해 경상북도는 이러한 기업들의 시행착오를 줄이고 상용화 기간을 획기적으로 단축시킬 수 있는 기술 지원 체계를 마련했다.
현재 챔버용 3대 핵심 부품의 대외 의존도는 90%를 웃도는 상황. 이번 사업을 통해 개발 기간은 기존 5년 이상에서 3년 이내로 40% 이상 단축하고, 개발 비용도 50% 이상 절감해 수입 대체 효과를 극대화할 계획이다.
올해 5월부터 5년간 총사업비 400억원이 투입되는 이번 사업은 구미국가 1산업단지 내에 반도체 챔버용 소재 부품 테스트베드를 조성한다. 주요 내용은 △소재 부품 기술지원센터 구축 △핵심 소재 부품 제조 검증 장비 구축 △시제품 제작 지원 및 시험분석 평가 지원 △수요-공급기업 네트워크 활성화 등이다.
한국세라믹기술원은 연면적 3000㎡ 규모의 기술지원센터를 구축해 시제품 제조공정 지원 및 분석 평가를 위한 36종의 장비를, 한국산업기술시험원은 신뢰성 평가 및 검증 시스템 확립을 위한 8종의 장비를 갖춘다. 구미전자정보기술원은 맞춤형 이용 가이드 및 컨설팅을, 한국반도체산업협회는 수요-공급 기업 간 협력 지원 및 홍보를 담당한다.
양금희 경상북도 경제부지사는 “이번 국비 확보는 경북이 대한민국 반도체 소재·부품의 중심지임을 입증한 쾌거”라며 “구미 반도체 특화단지를 중심으로 초격차 기술 경쟁력을 확보해 글로벌 반도체 공급망을 주도해 나가겠다”고 밝혔다.
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